高純氣體通常指用提純技術(shù)能達(dá)到的等級(jí)純度的氣體。
高純氣體分為有機(jī)高純氣體和無(wú)機(jī)高純氣體。常用的高純氣體包括高純氮、高純氦、高純氬、高純氫、高純氧、高純二氧化碳、高純甲烷、高純一氧化碳、高純乙炔等。
高純氣體技術(shù)參數(shù)
氣體名稱(chēng) | 化學(xué)式 | 規(guī)格(%) | 雜質(zhì)(??) |
高純氦 | He | 99.999% | O2≤1 CH4≤1 CO2≤0.5 Ne≤4 H2≤1 CO≤0.5 H2O≤3 |
Ar | 99.999% | O2≤2 THC≤2 N2≤5 H2≤1 H2O≤4 | |
H2 | 99.999% | O2≤1 CO2≤1 N2≤5 CH4≤1 CO≤3 H2O≤1 | |
高純氮?dú)狻?/span> | N2 | 99.999% | O2≤1 H2O≤2 H2≤1 THC≤3 |
高純二氧化碳 | CO2 | 99.999% | O2≤1 H2O≤2 N2≤5 CO≤1 THC≤1 |
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